Unter Diffusion wird die Wanderung von Atomen im festen Zustand verstanden. Dadurch stellt sich ein Strukturgleichgewicht ein. Einflussfaktoren für den thermisch aktivierten Platzwechsel von Atomen (Diffusion) sind: Temperatur, Zeit und Konzentrationsgefälle. Technisches Einsatzgebiete der Diffusion sind Aufkohlen von Stählen beim Einsatzhärten, Nietrieren, Wärmebehandlung von Stählen oder Ausscheidungshärtung von NE-Metallen.